氦质谱检漏仪的基本原理与组成
氦质谱检漏仪由离子源、分析器、真空系统、电子线路及其他电气部分组成。
目前的氦质谱检漏仪基本上都是磁偏转型的，现以180°的磁偏转型检漏仪为例加以说明。
在质谱室的离子源N内，真空箱氦检漏系统维修，气体被电离成离子。在电场作用下，离子聚焦成束，并以一定的速度经由缝隙S1进入磁分析器，在均匀磁场的作用下，具有一定速度的离子束，将按圆形轨迹运动。其偏转半径按下列公式计算：
R=1.8（MU）^1/2/H
式中，R为偏转半径（cm）；H为磁场强度（A/m）；M为有效质量，即离子质量和电荷质量之比；U为加速电压（V）。
由上式可以看出，当H和U为定值时，对应于不同的M，有不同的R。调节加速电压U使氦离子束M2恰能通过缝隙S2，到达收集极K而形成离子流。
利用弱电流测量设备，使之在输出仪表与音响装置上反映出来。而其他不同于M2的离子束（如图中M1、M3）则以不同的偏转半径而被分开
真空设备安装调试过程中的检漏步骤
安装调试阶段是真空设备或系统检漏工作的主体。若设备焊缝的气密性已经通过加工阶段的检漏得以保证，那么在设备安装、调试过程中，检查、保证连接部位的密封性，是检漏工作的重点。包括各个管道、部件间的法兰连接和动密封件等重点部位。若同时对焊缝和连接部位检漏，则检漏的工作量和难度都加大。大型、复杂真空设备好采用分段检漏，每装上一个部件，便对其连接部位和焊缝进行一次检漏，达到要求后再装下一个部件。因为将所有部件全装配完后再检漏，不仅怀疑部位太多，还可能多个漏孔同时漏气，真空箱氦检漏系统公司，给总体检漏带来极大困难。真空设备安装调试过程中的检漏步骤如下：
1、了解待检设备的结构组成和装配过程。掌握设备的要求，查明需要进行检漏的重点部位。
2、根据所规定的大允许漏率以及是否需要找漏孔的具体位置等要求，并从经济、快速、可靠等原则出发，正确选择好检漏方法或仪器，准备好检漏时所需的辅助设备后拟定切实可行的检漏程序。
3、应对被检件进行好清洁工作，莆田真空箱氦检漏系统，取出焊渣、油垢后再按真空卫生条件进行清洁处理，并予以烘干。对要求高的小型器件。清洁处理后可通过真空烘干箱进行烘烤，进行清洁处理后不但可以避免漏孔不被污物、油、有机溶液等堵塞，而且也保护了检漏仪器。
不同真空范围内的抽气时间计算
中真空领域的抽气时间计算
这里所指的中真空领域，真空箱氦检漏系统哪家好，是指真空度在200 Pa 至0.2Pa之间，中真空领域导管内的气体分子，处于黏性流和分子流的中间状态，不能单纯地像低真空或下面讲的高真空那样简单地计算。一般情况下，通过两种方式分别计算抽气时间，然后取计算值较大的结果。
真空抽气要考虑的要素：
(1)到达真空度；
(2)抽气速度；
(3)导通率；
(4)实际抽气速度；
(5)气体放出率；
(6)漏率。
用真空泵对真空腔体抽气时，初腔体内的压强迅速降低，但是经过一段时间后压强下降变缓，并且趋于一个恒定值。导致这种现象的主要原因是材料的表面放气。如下图压强和抽气时间的关系。压强变化的不同领域，分别称之为空间抽气和表面抽气。为了进一步提高真空度，通常采用的对策如下：
（1）选择表面放出气体少的材料；
（2）通过电解抛光等手段，减小材料表面积，继而减少气体分子的吸附；
（3）对腔体进行烘烤，促进表面吸附气体的放出。
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